压电振子阵列及采用此阵列的平面三自由度的微动平台

摘要

压电振子阵列及采用此阵列的平面三自由度的微动平台，它属于超声振动应用领域，它解决了微动平台能在同一平面内同时实现精确的直线运动和旋转运动的问题。本发明的压电振子阵列由同一平面内的东、南、西、北四个方位的振子群构成，上述四个振子群分别由至少一个正向条状振子(B1)和至少一个反向条状振子(B2)构成，所述正向条状振子(B1)上的相邻两组拨齿组(3)分别设置在此条形振动体(2)振动波长的八分之一和八分之五处，所述反向条状振子(B2)上的相邻两组拨齿组(3)分别设置在此条形振动体(2)振动波长的八分之三和八分之七处。采用此阵列的微动平台可以在同一平面内实现三个自由度的运动，且提高了微动台的响应速度和运动精度。

主权项

1、压电振子阵列，其特征在于所述压电振子阵列由同一平面内的东、南、西、北四个方位的振子群构成，东、南、西、北四个振子群分别由至少一个正向条状振子(B1)和至少一个反向条状振子(B2)构成，构成南、北向振子群的各个条状振子横向放置并排成一列，构成东、西向振子群的各个条状振子纵向放置并排成一行；所述正向条状振子(B1)和反向条状振子(B2)都由一个条形振动体(2)、至少两个压电陶瓷片(1)和至少两组拨齿组(3)组成；在每个条状振于中，多个压电陶瓷片(1)依次相邻排列并贴于条形振动体(2)的下表面，并且所述压电陶瓷片(1)与条形振动体(2)同宽，所述压电陶瓷片(1)的长度等于条形振动体(2)的固有频率所确定波长的二分之一；所述正向条状振子(B1)中条形振动体(2)上表面的相邻两组拨齿组(3)分别设置在此条形振动体(2)振动波长的八分之一和八分之五处，所述反向条状振子(B2)中条形振动体(2)的上表面相邻两组拨齿组(3)分别设置在此条形振动体(2)振动波长的八分之三和八分之七处；每一组拨齿组(3)含有至少一个拨齿，并且在每个条状振子的每一组拨齿组(3)中，多个拨齿沿条形振动体(2)的宽度方向排成一列。