| 发明名称 | 制造装置的控制管理系统 | ||
| 摘要 | 本发明是提供一种基于种类参数而进行制造的制造装置(3)的管理控制系统，其包括：判断电路(5)，其从制造装置(3)的运转信息(a)中提取错误信息(b)；错误抑制电路(6)，其提取用以与已提取的错误信息(b)相对应的错误避免的参数(d)，并可变地控制制造装置(3)的种类参数，并且从存储由制造装置(3)制造的各种工作产品的各种参数和用于错误避免的数据的产品制法数据库部(11)，通过产品检索引擎部(12)检索与由制造装置(3)制造的工作产品相对应的数据，并设置制造装置(3)。 | ||
| 申请公布号 | CN1820351A | 申请公布日期 | 2006.08.16 |
| 申请号 | CN03826787.X | 申请日期 | 2003.07.30 |
| 申请人 | NEC机械股份有限公司 | 发明人 | 喜多村章司 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01);H05K13/08(2006.01);G05B19/418(2006.01) | 主分类号 | H01L21/02(2006.01) |
| 代理机构 | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 寿宁 |
| 主权项 | 1.一种制造装置的管理控制系统，其特征在于包括：判断电路，其从基于将工作产品按各种类进行设定的种类参数而制造的制造装置的运转信息中提取制造上的错误信息，并根据该错误信息判断是提示操作员进行调整，还是由制造装置尝试自动避免错误；以及错误抑制电路，其提取与在判断电路中提取的错误信息相对应，且预先记录设定的用于避免错误的参数信息，并可变地控制上述种类参数，从而使制造装置继续运转。 | ||
| 地址 | 日本滋贺县 | ||