发明名称 |
CMOS图像传感器及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供了一种CMOS图像传感器及其制造方法,其中,在多个微透镜之间形成遮光层,以改善反射特性,并在封装时保护微透镜。该CMOS图像传感器包括:半导体衬底;至少一个光电二极管,在半导体衬底上;第一绝缘层,形成于包括有光电二极管的衬底上;多条金属线,形成于第一绝缘层上;第二绝缘层,形成于包括有金属线的第一绝缘层上;多个遮光层,形成于第二绝缘层上;以及微透镜,形成于多个遮光层之间的第二绝缘层上。 |
申请公布号 |
CN1819221A |
申请公布日期 |
2006.08.16 |
申请号 |
CN200510097115.8 |
申请日期 |
2005.12.30 |
申请人 |
东部亚南半导体株式会社 |
发明人 |
李相基 |
分类号 |
H01L27/146(2006.01);H01L21/822(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/146(2006.01) |
代理机构 |
北京康信知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
余刚 |
主权项 |
1.一种CMOS图像传感器,包括:半导体衬底;多个光电二极管,形成于所述半导体衬底上;第一绝缘层,形成于包括有所述光电二极管的所述衬底上;多条金属线,形成于所述第一绝缘层中;第二绝缘层,形成于包括有所述金属线的所述第一绝缘层上;多个遮光层,形成于所述第二绝缘层上;以及微透镜,形成于所述多个遮光层之间的所述第二绝缘层上。 |
地址 |
韩国首尔 |