| 发明名称 | 金属氧化物被膜的成膜方法及蒸镀装置 | ||
| 摘要 | 利用使TiCl<SUB>4</SUB>蒸气和水蒸气反应的CVD法，制造在基材表面具有氧化钛光催化剂被膜的光催化剂复合材。在蒸镀室(9)内分别从喷嘴(5)及喷嘴(6)以它们的喷射流在到达基材前交叉的方式喷射TiCl<SUB>4</SUB>蒸气和水蒸气，混合两蒸气。从该混合开始在3秒以内，使混合蒸气与向1方向移动的基材(1)接触。优选，从配置在与基材前进方向相反的方向的多孔式喷嘴(5)喷射TiCl<SUB>4</SUB>蒸气，从与基材的交叉角更小的缝隙式喷嘴(6)喷射水蒸气。 | ||
| 申请公布号 | CN1820091A | 申请公布日期 | 2006.08.16 |
| 申请号 | CN200480019422.8 | 申请日期 | 2004.07.06 |
| 申请人 | 住友钛株式会社 | 发明人 | 下崎新二;小笠原忠司;永冈佐太延;正木康浩 |
| 分类号 | C23C16/40(2006.01);C23C16/455(2006.01);B01J35/02(2006.01);C01G23/07(2006.01) | 主分类号 | C23C16/40(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 刘建 |
| 主权项 | 1.一种金属氧化物被膜的成膜方法，包括：蒸镀工序，通过使水解性金属化合物的蒸气和水蒸气与基材接触，在基材表面上形成金属氧化物前驱体的被膜；和烧成工序，通过将该基材接着在氧化性气氛中加热，使所述前驱体转化为金属氧化物，其特征在于：在蒸镀工序中，预先混合要使用的水解性金属化合物的蒸气和水蒸气，在从混合开始3秒以内，使混合蒸气与基材接触。 | ||
| 地址 | 日本国兵库县 | ||