| 发明名称 | 被处理体的输送系统和被处理体的输送方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种利用输送系统的被处理体输送方法，其中，所述输送系统包括：半导体处理装置，具有第一交接机构和第一光耦合并列I/O通信接口(以下称为第一接口)；和自动输送装置，具有第二交接机构和第二光耦合并列I/O通信接口(以下称为第二接口)，而且，所述第一交接机构和所述第二交接机构相互之间可逐块连续地交接被处理体，所述第一接口和所述第二接口相互之间可发送和接收作为控制第一交接机构或者第二交接机构的控制信号的光信号。本方法包括：连续交接通知工序，当可以在所述第一交接机构和所述第二交接机构之间逐块连续地交接多块被处理体的情况下，利用所述第一接口和所述第二接口之间的光通信，可以通知在所述自动输送装置和所述半导体处理装置之间连续交接；和连续交接工序，在所述第一交接机构和所述第二交接机构之间逐块连续地交接被处理体。 | ||
| 申请公布号 | CN1820364A | 申请公布日期 | 2006.08.16 |
| 申请号 | CN200480019413.9 | 申请日期 | 2004.09.16 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 饭岛俊彦;清水信也;石原香织 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01);H04B10/20(2006.01);G05B19/02(2006.01) | 主分类号 | H01L21/68(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1.一种被处理体的输送系统，其特征在于，包括：多个半导体处理装置；和在所述多个半导体处理装置之间逐块地自动输送被处理体的自动输送装置，其中，各半导体处理装置具有第一交接机构、和第一光耦合并列I/O通信接口，所述自动输送装置具有第二交接机构、和第二光耦合并列I/O通信接口，所述第一交接机构和所述第二交接机构相互之间可以逐块地连续交接所述被处理体，所述第一光耦合并列I/O通信接口和所述第二光耦合并列I/O通信接口相互之间可以发送和接收作为控制所述第一交接机构或所述第二交接机构的控制信号的光信号。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||