| 发明名称 | 通过微波微结构电极放电产生局部等离子区的装置及方法 | ||
| 摘要 | 一种通过微结构电极放电产生等离子区的装置，用于表面处理、气体化学反应或产生光，它具有一个等离子发生装置(1)，该等离子发生装置具有至少一个波导结构(11)，根据本发明，还设置有一个微波发生器，借助它可将电磁微波耦合到波导结构(11)中以产生等离子。本发明装置的寿命、尤其是波导结构的寿命显著延长，并且该装置更加便于维护。还提出一种通过借助微波实现的微结构电极放电产生等离子区的方法以及本发明装置的应用。 | ||
| 申请公布号 | CN1270349C | 申请公布日期 | 2006.08.16 |
| 申请号 | CN00801870.7 | 申请日期 | 2000.08.23 |
| 申请人 | 罗伯特·博施有限公司 | 发明人 | 斯特凡·格罗塞;约翰内斯·福格特 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01);H05H1/46(2006.01);H05H1/24(2006.01) | 主分类号 | H01J37/32(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 曾立 |
| 主权项 | 1.一种通过微结构电极放电在输入气体的情况下产生等离子区的装置，用于表面处理、气体化学反应或产生光，具有一个等离子发生装置(1)，其中，该等离子发生装置(1)具有至少一个波导结构(11)，其特征在于：设置有一个微波发生器，借助该微波发生器将电磁微波耦合到波导结构(11)中以产生等离子体。 | ||
| 地址 | 德国斯图加特 | ||