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发明名称
Buffer structure for modifying a silicon substrate
摘要
申请公布号
GB2413898(B)
申请公布日期
2006.08.16
申请号
GB20050015760
申请日期
2004.02.16
申请人
QINETIQ
发明人
DAVID JOHN WALLIS
分类号
H01L21/20;C30B23/02
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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