发明名称 Buffer structure for modifying a silicon substrate
摘要
申请公布号 GB2413898(B) 申请公布日期 2006.08.16
申请号 GB20050015760 申请日期 2004.02.16
申请人 QINETIQ 发明人 DAVID JOHN WALLIS
分类号 H01L21/20;C30B23/02 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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