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发明名称 SIDE RF COIL AND SIDE HEATER FOR PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060090745(A) 申请公布日期 2006.08.16
申请号 KR20060011089 申请日期 2006.02.06
申请人 APPLIED MATERIALS INC. 发明人 LONG MAOLIN;SUN DAVID P.
分类号 H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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