发明名称 RESIST, BARC AND GAP FILL MATERIAL STRIPPING CHEMICAL AND METHOD
摘要
申请公布号 EP1690135(A2) 申请公布日期 2006.08.16
申请号 EP20040812627 申请日期 2004.12.01
申请人 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 发明人 BERNHARD, DAVID;FUJITA, YOICHIRO;MIYAZAWA, TOMOE;NAKAJIMA, MAKOTO
分类号 C11D1/00;C11D3/02;C11D3/24;C11D3/30;C11D3/43;C11D7/10;C11D7/28;C11D7/32;C11D7/50;C11D11/00;G03F;G03F7/42;H01L21/02;H01L21/311 主分类号 C11D1/00
代理机构 代理人
主权项
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