发明名称 |
METHOD OF PRODUCTION OF SILICON CARBIDE SINGLE CRYSTAL |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP1690284(A2) |
申请公布日期 |
2006.08.16 |
申请号 |
EP20040799854 |
申请日期 |
2004.11.19 |
申请人 |
TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
NAKAMURA, MASATERU |
分类号 |
C30B9/06;H01L21/00;C30B9/00;C30B11/00;C30B19/02;C30B19/04;C30B29/36 |
主分类号 |
C30B9/06 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|