| 发明名称 |
Tube-shaped sputtering target |
| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein rohrförmiges Sputtertarget mit einem Targetkörper und mit an mindestens einem Rohrende angeordneter Befestigungsvorrichtung und besteht darin, dass die Befestigungsvorrichtung und/oder ein Rohrenddeckel stoffschlüssig oder formschlüssig mit dem Targetkörper verbunden sind.</p> |
| 申请公布号 |
EP1666631(A3) |
申请公布日期 |
2006.08.16 |
| 申请号 |
EP20050024381 |
申请日期 |
2005.11.09 |
| 申请人 |
W.C. HERAEUS GMBH |
发明人 |
WEIGERT, MARTIN;SCHULTHEIS, MARKUS;SCHLOTT, MARTIN;SIMONS, CHRISTOPH |
| 分类号 |
C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
