| 发明名称 | 800纳米波段背入射式高密度石英反射光栅 | ||
| 摘要 | 一种用于高衍射效率反射800纳米波段半导体激光或以800纳米为中心波长的飞秒脉冲激光的800纳米波段背入射式高密度石英反射光栅，其特点在于当该光栅的周期为346～396纳米，光栅的深度为260～300纳米，光栅的占空比为1/2，本发明可以使在TE偏振光入射下1级反射衍射效率对800纳米波长实现高于90％的结果；当该光栅的周期为331～381纳米，光栅的深度为360～440纳米，光栅的占空比为1/2，本发明可以使在TM偏振光入射下1级反射衍射效率对800纳米波长实现高于90％的结果。本发明800纳米波段背入射式高密度石英反射光栅由光学全息记录技术或电子束直写装置结合微电子光刻工艺加工而成，可以低成本、大批量生产。 | ||
| 申请公布号 | CN1270196C | 申请公布日期 | 2006.08.16 |
| 申请号 | CN200410052903.0 | 申请日期 | 2004.07.16 |
| 申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 周常河;张妍妍 |
| 分类号 | G02B5/18(2006.01);H01S5/00(2006.01);G02F1/35(2006.01) | 主分类号 | G02B5/18(2006.01) |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 张泽纯 |
| 主权项 | 1、一种用于反射800纳米波段半导体激光或以800纳米为中心波长的飞秒脉冲激光的800纳米波段背入射式高密度石英反射光栅，其特征在于该光栅的周期为346～396纳米，光栅的深度为260～300纳米，光栅的占空比为1/2。 | ||
| 地址 | 201800上海市800－211邮政信箱 | ||