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发明名称 REMOVAL OF MEMS SACRIFICIAL LAYERS USING SUPERCRITICAL FLUID/CHEMICAL FORMULATIONS
摘要
申请公布号 EP1689825(A1) 申请公布日期 2006.08.16
申请号 EP20040812516 申请日期 2004.11.30
申请人 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 发明人 KORZENSKI, MICHAEL, B.;BAUM, THOMAS, H.;GHENCIU, ELIODOR, G.;XU, CHONGYING
分类号 H01L21/302;C09K13/00;C09K13/04;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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