发明名称 VAKUUM-BEHANDLUNGSANLAGE FÜR EBENE RECHTECKIGE BZW. QUADRATISCHE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 AT334920(T) 申请公布日期 2006.08.15
申请号 AT20040019331T 申请日期 2004.08.14
申请人 APPLIED FILMS GMBH & CO. KG 发明人 LINDENBERG, RALPH;FUCHS, FRANK;SCHUESSLER, UWE;BANGERT, STEFAN;STOLLEY, TOBIAS
分类号 C23C14/56;B65G49/06;H01L21/205;H01L21/68;(IPC1-7):B65G49/06 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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