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发明名称
VAKUUM-BEHANDLUNGSANLAGE FÜR EBENE RECHTECKIGE BZW. QUADRATISCHE SUBSTRATE
摘要
申请公布号
AT334920(T)
申请公布日期
2006.08.15
申请号
AT20040019331T
申请日期
2004.08.14
申请人
APPLIED FILMS GMBH & CO. KG
发明人
LINDENBERG, RALPH;FUCHS, FRANK;SCHUESSLER, UWE;BANGERT, STEFAN;STOLLEY, TOBIAS
分类号
C23C14/56;B65G49/06;H01L21/205;H01L21/68;(IPC1-7):B65G49/06
主分类号
C23C14/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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