基板运送装置

摘要

本发明系以减少大型方形基板运送时的挠曲量为目的。本案的基板运送装置的构造为：于运送臂2处采相同的距离设有3个与运送方向平行延伸的保持部3、4、5，各保持部3、4、5系分别形成于一对棒材6、6，且在保持部3、4、5的前端部及根部设有可沿着保持部之长轴方向调整位置的吸着部7，更在保持部4的部设有固定吸着部13。

主权项

1.一种基板运送装置,是用来运送方形基板的基板 运送装置,其特征为:至少平行地配置有3根保持部, 各保持部上至少设有2个可沿着长轴方向调整位置 的吸着部,并在位于中央的保持部之长轴方向的中 央部固定有吸着部。 2.如申请专利范围第1项之基板运送装置,其中前述 保持部系由一对平行延伸的棒所构成。 3.如申请专利范围第1项之基板运送装置,其中前述 基板装置系形成上下2段,且上段保持部与下段保 持部均可独立驱动。 4.如申请专利范围第1项之基板运送装置,其中前述 吸着部系由:连结于真空帮浦之类减压源的挠管、 及包覆该挠管的衬垫所构成。 5.如申请专利范围第1项之基板运送装置,其中,在 前述长轴方向上将量尺设成紧邻着可调整位置的 吸着部。 图式简单说明: 第1图:表示本发明基板运送装置之待机状态的斜 视图。 第2图:同一基板运送装置的平面图。 第3图:同一基板运送装置的侧视图。 第4图:吸着部的分解斜视图。 第5图:传统运送装置的斜视图。