发明名称 DEVICE COVERING C-BN TO SKH51 USING ELECTRON ASSISTED HOT FILAMENT CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION SYSTEM
摘要
申请公布号 KR20060090059(A) 申请公布日期 2006.08.10
申请号 KR20050011262 申请日期 2005.02.07
申请人 CHOE, JIN IL 发明人 CHOE, JIN IL
分类号 C23C16/50 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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