发明名称 Method for manufacturing semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100611012(B1) 申请公布日期 2006.08.10
申请号 KR20030098055 申请日期 2003.12.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/306;H01L21/302;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/461;H01L21/768 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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