MICROMECHANICAL COMPONENT AND CORRESPONDING PRODUCTION METHOD

摘要

Die Erfindung schafft ein mikromechanisches Bauelement einem leitfähigen Substrat (1; 1', 17, 19); einer elastisch auslenkbaren Membran (M; M') mit mindestens einer leitfähigen Schicht (9; 9a), welche über einer Vorderseite (V) des Substrats (1; 1', 17, 19) vorgesehen ist, wobei die leitfähige Schicht (9; 9a) gegenüber dem Substrat (1; 1', 17, 19) elektrisch isoliert ist; einem mit einem Medium gefülltem Hohlraum (H; H'), der zwischen dem Substrat (1; 1', 17, 19) und der Membran (M; M') vorgesehen ist; und einer Mehrzahl von unter der Membran (M; M') durch das Substrat (1; 1', 17, 19) verlaufenden Perforationsöffnungen (15; 15``; 15```); wobei die Perforationsöffnungen (15; 15``; 15```) einen Zugang zu dem Hohlraum (H; H') von einer Rückseite (R) des Substrats (1; 1', 17, 19) her schaffen, so dass ein im Hohlraum (H; H') befindliches Volumen des Mediums bei einer Auslenkung der Membran (M) veränderbar ist. Die Erfindung schafft ebenfalls ein entsprechendes Herstellungsverfahren.