发明名称 OVERLAY MEASURABLE PHOTOLITHOGRAPHY METHOD
摘要
申请公布号 KR20060090096(A) 申请公布日期 2006.08.10
申请号 KR20050011309 申请日期 2005.02.07
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHO, YOUNG JIN;SONG, JAE KWAN;JANG, DONG HEUI
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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