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发明名称 EIN SENSOR ZUM MESSEN EINER SUBSTRATTEMPERATUR
摘要
申请公布号 DE69932165(D1) 申请公布日期 2006.08.10
申请号 DE19996032165 申请日期 1999.08.06
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 ADAMS, BRUCE;HUNTER, AARON;RUBINCHIK, ALEX;YAM, MARK;O'BRIEN, A.
分类号 G01J5/00;G01J5/02;G01J5/04;G01J5/08;G01J5/34;H01L21/26;H01L21/66 主分类号 G01J5/00
代理机构 代理人
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