发明名称 CHAMBER LID OPEN APPARATUS OF PLASMA ETCHER
摘要
申请公布号 KR20060090389(A) 申请公布日期 2006.08.10
申请号 KR20050011216 申请日期 2005.02.07
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHOI, JONG HOON;WON, YUN JONG;SHIN, SEUNG JIN;JEONG, JONG TAE
分类号 G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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