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经营范围
发明名称
CHAMBER LID OPEN APPARATUS OF PLASMA ETCHER
摘要
申请公布号
KR20060090389(A)
申请公布日期
2006.08.10
申请号
KR20050011216
申请日期
2005.02.07
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
CHOI, JONG HOON;WON, YUN JONG;SHIN, SEUNG JIN;JEONG, JONG TAE
分类号
G02F1/13
主分类号
G02F1/13
代理机构
代理人
主权项
地址
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