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发明名称 SPINDLE UNIT FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 KR20060089896(A) 申请公布日期 2006.08.10
申请号 KR20050009986 申请日期 2005.02.03
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 PARK, CHAN HYUN
分类号 H01L21/205;H01L21/02 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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