Mikromechanisches Bauelement und entsprechendes Herstellungsverfahren

摘要

Die Erfindung schafft ein mikromechanisches Bauelement mit einem zumindest bereichsweise leitfähigen Substrat (1); einer elastisch auslenkbaren zumindest bereichsweise leitfähigen Membran (M), welche gewölbt und vom Substrat (1) elektrisch isoliert über einer Vorderseite (V) des Substrats (1) vorgesehen ist, wobei die Membran (M) einen Innenbereich (I; I') und einen Randbereich (RB; RB') aufweist; und einem Hohlraum (H), der zwischen dem Substrat (1) und der Membran (M) vorgesehen ist; wobei der Innenbereich (I; I') einen gegenüber dem Randbereich (RB; RB') modifizierten Querschnitt aufweist, wodurch eine Durchbiegung des Innenbereichs (I; I') im Vergleich zum Fall eines identischen Querschnitts verringert ist. Die Erfindung schafft ebenfalls ein entsprechendes Herstellungsverfahren.