| 发明名称 |
Verfahren zur Steuerung einer Abfolge von Meßschritten für die Justage eines Halbleiterwafers in einem Belichtungsapparat |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10329865(B4) |
申请公布日期 |
2006.08.10 |
| 申请号 |
DE20031029865 |
申请日期 |
2003.07.02 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
SCHUMANN, JOERG;SEYFERT, JENS |
| 分类号 |
G03F9/00;H01L21/027;G03F7/20 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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