| 发明名称 |
Vorrichtung zur Einstellung eines Beleuchtungsfeldes |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69835050(D1) |
申请公布日期 |
2006.08.10 |
| 申请号 |
DE19986035050 |
申请日期 |
1998.03.18 |
| 申请人 |
ASML HOLDING, N.V. |
发明人 |
MCCULLOUCH, ANDREW W.;GOVIL, PRADEEP K. |
| 分类号 |
G02B26/02;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
G02B26/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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