Ätzen eines Metallsilizids mit HCI und Chlor,申请号DE19976034626T-传众专利搜索

发明名称	Ätzen eines Metallsilizids mit HCI und Chlor
摘要
申请公布号	DE69734626(T2)	申请公布日期	2006.08.10
申请号	DE19976034626T	申请日期	1997.05.06
申请人	KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP.;SIEMENS AG	发明人	HOH, PETER D.;OHIWA, TOKUHISA;GREWAL, VIRINDER;SPULER, BRUNO;KOCON, WALDEMAR;WILTSHIRE, GUADALUPE
分类号	C23F4/00;H01L21/321;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L49/00	主分类号	C23F4/00
代理机构		代理人
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