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发明名称 AMINIERTE POLYSILAZANE UND VERFAHREN ZUR DEREN HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE69832282(T2) 申请公布日期 2006.08.10
申请号 DE19986032282T 申请日期 1998.08.10
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. 发明人 SHIMIZU, YASUO;AOKI, TOMOKO;FUNAYAMA, OSAMU
分类号 C08G77/62;C01B33/12;C08G77/54 主分类号 C08G77/62
代理机构 代理人
主权项
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