发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Kondensators unter Verwendung von Silizium mit halbkugelförmigen Körnchen
摘要
申请公布号 DE19929605(B4) 申请公布日期 2006.08.10
申请号 DE1999129605 申请日期 1999.06.28
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, SUNG-TAE;KIM, KYUNG-HOON
分类号 H01L21/8242;H01L27/108;H01L21/02 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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