具有用于增强微镜与静电场耦合的机构的微镜

摘要

公开了一种微镜器件(122)，和一种制造这样一种微镜器件(122)的方法，该微镜器件包括微镜板(230)、铰链(214)和延长板(212)。在所述微镜板上形成延长板(212)，该延长板在微镜板(230)和电极(126)之间，该电极和所述微镜板(230)关联以转动所述微镜板。延长板(212)可以是金属的或电介质。也公开了一种制造这样一种微镜器件的方法。特别地，形成微镜板(230)之后形成延长板(212)。而且，也公开了一种投影系统(102)，该系统包括空间光调制器(110)，该空间光调制器具有这些微镜组成的阵列，以及光源(102)、聚光装置，其中来自所述光源(102)的光被聚焦到所述微镜阵列上；投射装置，用于将所述微镜阵列(110)选择性反射的光投射到靶上；和控制器，用于选择性地启动或致动所述阵列(110)中的微镜(122)。

主权项

1.一种微镜器件，其包括：衬底；连到所述衬底的铰链和铰链支座；可活动的反射镜板，其中所述铰链在所述镜板上的第一位置处固定到所述镜板；和延长板，该延长板在所述镜板的第二位置处连到所述镜板。