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发明名称 METHODS AND APPARATUS FOR IN SITU SUBSTRATE TEMPERATURE MONITORING
摘要
申请公布号 EP1687600(A2) 申请公布日期 2006.08.09
申请号 EP20040819532 申请日期 2004.11.15
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 STEGER, ROBERT J.
分类号 G01J5/00;G01K15/00;H01L 主分类号 G01J5/00
代理机构 代理人
主权项
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