发明名称 一种CMOS图像传感器及其制造方法
摘要 提供了一种CMOS图像传感器,其中形成有红外线截止滤光器,使得便携式电话的相机模块的尺寸可以被减小并且制造产量可以被改进,以及其制造方法。该CMOS图像传感器包括:在半导体基片上形成的滤色器层,在该半导体基片中形成有光电二极管区,栅电极,层间绝缘层和金属线;在滤色器层上形成的红外线截止滤光器;以及在红外线截止滤光器上形成的微透镜。
申请公布号 CN1815745A 申请公布日期 2006.08.09
申请号 CN200510132035.1 申请日期 2005.12.16
申请人 东部亚南半导体株式会社 发明人 黄俊
分类号 H01L27/146(2006.01);H01L21/822(2006.01) 主分类号 H01L27/146(2006.01)
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 徐谦
主权项 1.一种CMOS图像传感器包括:滤色器层,其形成于半导体基片上,在该半导体基片中形成有光电二极管区、栅电极、层间绝缘层和金属线,红外线截止滤光器,其形成于滤色器层上;以及微透镜,其形成于红外线截止滤光器上。
地址 韩国首尔