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发明名称 Improvements relating to the coating of semiconductor bodies with silicon dioxide
摘要
申请公布号 GB997299(A) 申请公布日期 1965.07.07
申请号 GB19620018139 申请日期 1962.05.11
申请人 FERRANTI LIMITED 发明人 NUTTALL ROY
分类号 C23C16/40;H01L21/316 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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