| 发明名称 | 用以固定抛光基材的吸附片材及其制造方法及抛光装置 | ||
| 摘要 | 一种吸附片材制造方法，包含下列步骤：提供一载体，形成具有聚氨酯树脂的一涂布层于该载体上，然后凝固、水洗及烘干该涂布层，以制得一连通多孔性片材；以及藉由一平坦化制程平坦该连通多孔性片材的表面，以制得一连通多孔性吸附片材，其中该片材表面的不平坦度小于10μm。 | ||
| 申请公布号 | CN1814411A | 申请公布日期 | 2006.08.09 |
| 申请号 | CN200510004978.6 | 申请日期 | 2005.01.31 |
| 申请人 | 三芳化学工业股份有限公司 | 发明人 | 冯崇智;赵征祥;姚伊蓬;李志仁;洪永璋 |
| 分类号 | B24B37/04(2006.01);H01L21/304(2006.01) | 主分类号 | B24B37/04(2006.01) |
| 代理机构 | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人 | 周春发 |
| 主权项 | 1、一种用以固定抛光基材的吸附片材制造方法，其特征在于：包含下列步骤：a.提供一载体，形成具有聚氨酯树脂之一涂布层于该载体上，然后凝固、水洗及烘干该涂布层，以制得一连通多孔性片材；以及b.藉由一平坦化制程将该连通多孔性片材的表面予以平坦化，以制得一连通多孔性吸附片材，其中该片材表面的不平坦度小于10μm。 | ||
| 地址 | 台湾省高雄县仁武乡凤仁路402号 | ||