发明名称 利用薄钌间隔层和高磁场退火的增强反平行被钉扎传感器
摘要 本发明提供具有间隔层的反平行被钉扎传感器,所述间隔层提高了该传感器的反平行耦合强度。该反平行被钉扎传感器是GMR或TMR传感器,其具有纯钌或钌合金间隔层。间隔层的厚度小于0.8nm,优选在0.1和0.6nm之间。间隔层还在1.5特斯拉或更高且优选大于5特斯拉的磁场中退火。该设计产生意想不到的结果,是利用0.8nm厚且在约1.3特斯拉的较低磁场中退火的钌间隔层的普通AP被钉扎GMR和TMR传感器的钉扎场的三倍以上。
申请公布号 CN1815561A 申请公布日期 2006.08.09
申请号 CN200610005181.2 申请日期 2006.01.13
申请人 日立环球储存科技荷兰有限公司 发明人 李文扬;李晋山;丹尼尔·莫里;西冈浩一;田岛康成
分类号 G11B5/39(2006.01);H01F10/32(2006.01) 主分类号 G11B5/39(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 李晓舒;魏晓刚
主权项 1.一种提高传感器的耦合强度的方法,该方法包括:(a)提供具有小于0.8nm的厚度的钌间隔层;(b)形成具有所述钌间隔层的传感器;以及(c)在1.5特斯拉或更高的磁场中退火所述钌间隔层。
地址 荷兰阿姆斯特丹