| 发明名称 | 真空加工设备 | ||
| 摘要 | 在此公开了一种真空加工设备，用于在其中建立真空环境之后对基板执行所需工艺。更具体而言，所述真空加工设备包括真空室，该真空室分为室体和上盖。所述上盖配置成容易从室体打开以及关闭到室体。 | ||
| 申请公布号 | CN1815690A | 申请公布日期 | 2006.08.09 |
| 申请号 | CN200610003345.8 | 申请日期 | 2006.02.05 |
| 申请人 | 爱德牌工程有限公司 | 发明人 | 李荣钟;崔浚泳;孙亨圭;李祯彬;金敬勋;金炯寿;韩明宇 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/20(2006.01);H01L21/3065(2006.01);H01L21/67(2006.01);C23C14/56(2006.01);C23C16/44(2006.01);C23F4/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 朱登河;王艳江 |
| 主权项 | 1.一种真空加工设备，包括室体和与该室体向上间隔开的上盖，进一步包括：水平驱动装置，其设置在所述上盖外并且适于水平移动所述上盖；以及关闭机构，其适于进行竖直移动而关闭及打开位于室体和上盖之间的间隙。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||