激光诱导等离子体法在石英基片上制作微型通道的技术

摘要

本发明是一种微型通道的制作技术，利用在调Q的Nd∶YAG激光在石英基片上作微加工时伴随产生的激光诱导等离子体作为钻孔工具，在石英基片上制作微型通道。首先将激光束聚焦于石英基片的出光面，对光能吸收点作预处理，然后以此预处理点作为吸收光点开始激光钻孔，利用石英等离子体的高能高热局部融化并蒸发基片材料，按一定速率不断调整激光的聚焦面，可以保持石英等离子体的产生，从而可向深度方向不断融化并蒸发基片材料，形成微型通道。微型通道的直径从40微米至140微米可控制，截面基本上为圆形，管壁光滑(粗糙度优于0.2μm)，长度大于4mm。该微型通道可构成微型流体系统用于多种生物医学分析用途。

主权项

1.一种利用激光在石英基片上制作微型通道的方法，其特征是在基片预处理时，将激光束聚焦在石英基片的出光面，用常规的激光热能法通过从基片出射面开始加工的方法，使基片出射面形成光能吸收点，光能吸收点要形成多个微小凹腔，增加吸光面积，然后翻转石英块，使基片出射光面变成入射光面，使出射面形成的光能吸收点变成激光束的聚焦点，用激光诱导产生初始石英等离子体，不断调整加工位置，改变钻孔技术，调整激光束在焦平面的移动轨迹图案，完成达到钻孔的目的。