发明名称 含检测元素的导热组件及检测方法
摘要 本发明提供了一种含检测元素的导热组件及检测方法,其检测方法包括:在导热组件完成真空除气之后,于该导热组件内部注入微量检测元素,该微量检测元素可为氦气、氩气等原子量较小的惰性气体,封闭导热组件;利用侦测仪器由导热组件外部进行侦测有无检测元素外漏的现象;通过该导热组件的检测方法,可缩短检测时间,快速准确得知导热组件内部真空状态,从而更加符合工业实用性的需求。
申请公布号 CN1815157A 申请公布日期 2006.08.09
申请号 CN200510001673.X 申请日期 2005.02.03
申请人 力致科技股份有限公司 发明人 施铭铨;何信威;张中彦
分类号 G01L21/00(2006.01) 主分类号 G01L21/00(2006.01)
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 代理人 黄健
主权项 1.一种含检测元素的导热组件检测方法,其特征在于包括:a.在导热组件完成真空除气之后,于该导热组件内部注入微量检测元素,再封闭导热组件;b.由导热组件外部进行侦测有无检测元素外漏的现象,即可得知导热组件内部的真空状态。
地址 台湾省新竹县