自动椭圆偏振测厚仪

摘要

本实用新型涉及一种自动椭圆偏振测厚仪，由电控箱、光路托板、激光器固定架、激光器、转向棱镜、起偏器、样品台、检偏器、探测器组成；电控箱上方设置光路托板，光路托板上方分别设置检偏器、样品台及起偏器；位于检偏器一侧设置探测器，位于起偏器一侧设置转向棱镜；其特征在于光路托板的下方设置激光器固定架，其上设有激光器。激光器采用带布儒斯特窗的氦氖激光器。该仪器采用带布儒斯特窗的氦氖激光器作为光源，光源的亮度、波长及偏振状态稳定，从而提高测量精度。激光器置于测量平面下方，固定位置隐蔽不外露，光源不易被碰到而导致光路被破坏，并使仪器整体结构更加紧凑，整体空间占用小。其结构简单，加工简便，使用方便；造价低，应用广。

主权项

1、一种自动椭圆偏振测厚仪，由电控箱、光路托板、激光器固定架、激光器、转向棱镜、起偏器、样品台、检偏器、探测器组成；电控箱上方设置光路托板，光路托板上方分别设置检偏器、样品台及起偏器；位于检偏器一侧设置探测器，位于起偏器一侧设置转向棱镜；其特征在于光路托板的下方设置激光器固定架，其上设有激光器。