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发明名称 Trap apparatus
摘要
申请公布号 EP1031640(B1) 申请公布日期 2006.08.09
申请号 EP20000103982 申请日期 2000.02.25
申请人 EBARA CORPORATION 发明人 HORIE, KUNIAKI;ABE, MASAHITO;NAKADA, TSUTOMU;ARAKI, YUJI
分类号 C23C16/44;F04B37/16;B01D8/00;B01D47/00;B01D47/02;B01D47/06;C23C16/00;H01L21/02;H01L21/20 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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