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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATING METHOD AND SYSTEM FOR CARRYING OUT THE SAME
摘要
申请公布号
KR100610416(B1)
申请公布日期
2006.08.09
申请号
KR19990046706
申请日期
1999.10.26
申请人
发明人
分类号
H01L21/205;C23C16/02;C23C16/34;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/285;H01L21/3205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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