发明名称 | 研磨片材及其制造方法与抛光装置 | ||
摘要 | 一种研磨片材包含一不织布及一连通多孔性高分子弹性体。该不织布具有纤维,且该高分子弹性体具有复数个连通孔,并固化结合于该不织布中,其中该研磨片材一表面是由该不织布的纤维及该高分子弹性体所组成。 | ||
申请公布号 | CN1814410A | 申请公布日期 | 2006.08.09 |
申请号 | CN200510004849.7 | 申请日期 | 2005.02.02 |
申请人 | 三芳化学工业股份有限公司 | 发明人 | 冯崇智;赵征祥;姚伊蓬;李志仁;洪永璋 |
分类号 | B24B37/04(2006.01);H01L21/304(2006.01) | 主分类号 | B24B37/04(2006.01) |
代理机构 | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人 | 周春发 |
主权项 | 1、一种研磨片材,其特征在于:其包含:一不织布,具有纤维;以及一连通多孔性的高分子弹性体,具有复数个连通孔,并固化结合于该不织布中,其中该研磨片材之一表面是由该不织布的纤维及该连通多孔性高分子弹性体所组成。 | ||
地址 | 台湾省高雄县仁武乡凤仁路402号 |