发明名称 SURFACE WAVE EXCITATION PLASMA CVD SYSTEM
摘要
申请公布号 KR100610469(B1) 申请公布日期 2006.08.09
申请号 KR20040088315 申请日期 2004.11.02
申请人 发明人
分类号 H05H1/46;C23C16/00;C23C16/40;C23C16/42;C23C16/455;C23C16/511;C23C16/517;H01L21/205 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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