发明名称 Methods of manufacturing thin film conductors and to conductors manufactured thereby
摘要
申请公布号 GB1000570(A) 申请公布日期 1965.08.04
申请号 GB19630025140 申请日期 1963.06.25
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人
分类号 C23C14/02;C23C14/04;C23C14/58;C23F1/02;G11C11/44;H01B1/00;H01L39/00;H01L39/18;H01L39/24;H01L49/02;H05K3/14 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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