发明名称 |
定位设备和控制定位设备的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种定位设备。其中,可移动构件沿预定导轨移动。支撑构件从可移动构件延伸。处理单元固定到支撑构件的顶端。传感器检测可移动构件的移动。当可移动构件已经停止移动时,处理单元遭受由于作用在处理单元上的惯性引起的过渡过程。基于传感器信号的波形检测过渡过程。由此基于传感器信号可以精确检测处理单元的位置。可以最优地确定开始处理单元的操作的时间。由此允许处理单元在预定时间开始操作。即使在处理单元中仍存在有过渡过程,也允许处理单元在可移动构件已经停止移动后较短时间内开始操作。 |
申请公布号 |
CN1815683A |
申请公布日期 |
2006.08.09 |
申请号 |
CN200510077627.8 |
申请日期 |
2005.06.17 |
申请人 |
富士通株式会社 |
发明人 |
小林泰山;高田英治;须藤和巳 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01);H01L21/68(2006.01);H01L21/027(2006.01);H01L21/50(2006.01);H05K13/04(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01) |
代理机构 |
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
赵淑萍 |
主权项 |
1.一种定位设备,包括:被设计成沿预定导轨移动的可移动构件;从所述可移动构件延伸的支撑构件;固定到所述支撑构件的顶端的处理单元;检测所述可移动构件的移动的传感器;控制器电路,其被设计成基于传感器信号来确定开始所述处理单元的操作的时间,当所述可移动构件已经停止移动时从所述传感器输出所述传感器信号。 |
地址 |
日本神奈川县 |