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发明名称
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATES WITH BURIED LAYERS BY JOINING (BONDING) SEMICONDUCTOR WAFERS
摘要
申请公布号
EP1687849(A1)
申请公布日期
2006.08.09
申请号
EP20040802847
申请日期
2004.11.29
申请人
X-FAB SEMICONDUCTOR FOUNDRIES AG
发明人
KNECHTEL, ROY;LENZ, ANDREJ
分类号
H01L21/762
主分类号
H01L21/762
代理机构
代理人
主权项
地址
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