发明名称 ORGANOMETALLIC COMPLEXES AND THEIR USE AS PRECURSORS TO DEPOSIT METAL FILMS
摘要
申请公布号 KR20060089677(A) 申请公布日期 2006.08.09
申请号 KR20060010775 申请日期 2006.02.03
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 发明人 LEI XINJIAN;XIAO MANCHAO;THRIDANDAM HAREESH;CUTHILL KIRK SCOTT
分类号 C07F19/00 主分类号 C07F19/00
代理机构 代理人
主权项
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