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发明名称 THICK FILM PHOTORESISTS AND METHODS FOR USE THEREOF
摘要
申请公布号 EP1393131(A4) 申请公布日期 2006.08.09
申请号 EP20020734337 申请日期 2002.05.10
申请人 SHIPLEY COMPANY LLC 发明人 THACKERAY, JAMES, W.;MORI, JAMES, M.;TENG, GARY, GANGHUI
分类号 G03F7/004;G03F7/039;G03F7/16;G03F7/26;G03F7/38;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/00;G03F7/40 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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