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发明名称
DEVICE FOR PERFORMING SURFACE TREATMENT ON SEMICONDUCTOR WAFERS
摘要
申请公布号
EP1407478(B1)
申请公布日期
2006.08.09
申请号
EP20020741869
申请日期
2002.06.06
申请人
MOTOROLA, INC.
发明人
JAHANBANI, MOHAMAD;RUEMMELIN, STEFAN;HOYER, RONALD
分类号
H01L21/00;H01L21/304;H01L21/673
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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