显示面板的制造方法

摘要

本发明的课题是通过消除检查精度偏差，提高检查作业速度，实现显示面板的生产性的提高。作为解决手段，具有：前处理工序(S1)，在基板上的显示区域内指定自发光元件的配置，同时在显示区域以外的区域内形成基准标记；成膜工序(S2)，通过成膜用掩模的开口图形对发光材料进行成膜，在显示区域内对自发光元件的构成要素进行成膜，同时在显示区域以外对各成膜的位置检测标记进行成膜；位置检测工序(S3)，把可见光照射到基准标记上，并把UV光照射到位置检测标记上，通过对拍摄基准标记和位置检测标记而获得的图像数据进行图像处理，检测位置检测标记相对于基准标记的位置；以及检查工序(S4)，根据由位置检测工序(S3)所检测出的位置检测标记相对于基准标记的位置，判定构成要素的成膜状态相对于自发光元件的配置的好坏。

主权项

1.一种显示面板的制造方法，在基板上的显示区域内形成自发光元件，其特征在于，具有：前处理工序，在前述基板上的显示区域内指定前述自发光元件的配置，同时在前述显示区域以外的区域内形成指定了与前述配置的位置关系的基准标记；成膜工序，通过成膜用掩模的开口图形对发光材料进行成膜，在前述显示区域内对前述自发光元件的构成要素进行成膜，同时在前述显示区域以外对各成膜的位置检测标记进行成膜；位置检测工序，把可见光照射到前述基准标记上，并把紫外光照射到前述位置检测标记上，通过对拍摄前述基准标记和前述位置检测标记而获得的图像数据进行图像处理，检测前述位置检测标记相对于前述基准标记的位置；以及检查工序，根据通过前述位置检测工序检测出的前述位置检测标记相对于前述基准标记的位置，判定前述构成要素的成膜状态相对于前述自发光元件的配置的好坏。