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发明名称 SILICON SINGLE CRYSTAL AND PRODUCTION METHOD FOR SILICON SINGLE CRYSTAL WAFER
摘要
申请公布号 EP1143046(A4) 申请公布日期 2006.08.09
申请号 EP19990972701 申请日期 1999.11.19
申请人 KOMATSU DENSHI KINZOKU KABUSHIKI KAISHA 发明人 NAKAMURA, KOZO;SAISHOJI, TOSHIAKI;YOKOYAMA, TAKASHI;MATSUKUMA, SHIN;ISIKAWA, FUMITAKA
分类号 C30B29/06;C30B15/00;C30B15/14 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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